基座

12V100W调光用电源，带遥控器

调焦部分：行程29mm,配备AIF（Auto Link Focusing system）

控制部分：物镜转换器旋转，灯光调节，孔径光阑调节,升降部，光路转换

物镜转换器：6孔电动通用物镜转换器

可按装自动对焦装置（选配件）

反射照明部

12V100W卤素照明装置，电动孔径光阑（可对中），视场光阑（固定、带Focusing Target）,电动光路转换（BF/DF），可插入针孔插片（选配件），可插入φ25滤光片（NCB11，ND16，ND4），可安装电动DIC装置（选配件）

镜筒

L2-TT2超宽视场正立倾角三目镜筒

L2-TT超宽视场正立倾角三目镜筒，L-TI2正立三目镜筒

载物台

8x8载物台，行程205x205mm，带粗微调转换机构，微调手轮位置固定电动扫描载物台ISS220（与晶圆装载机NWL860系列组合时）

目镜

CFI目镜系列

物镜

CFI60系统物镜系列