ECLIPSE L300D
凝聚了尼康光学技术的CFI60光学系统,实现了前所未有的亮度、对比度和操作性。能够用于大型液晶基板的高精度检查。
最大可测量样本尺寸:17英寸FPD
载物台行程:351x302mm(透射照明范围:354x268mm)
观察倍率:15X-3000X(根据目镜与物镜的组合)
规格:
基座 |
电气部分:12V100W调光用电源,内置电动部控制用电源
调焦部分:行程29mm,粗调:12.7mm/1转(带力矩调节、重新调焦机构,微调;0.1mm/1转(1µm/1格)
控制部分:物镜转换器旋转,灯光调节,孔径光阑调节,反射/透射照明转换
物镜转换器:6孔电动通用物镜转换器(带对中机构、微分干涉装置插槽) |
反射照明部 |
12V100W卤素照明装置,电动孔径光阑(可对中),视场光阑(固定、带Focusing Target),可插入针孔插片(选配件),可插入φ25mm滤光片(NCB11,ND16,ND4),可插入起偏器/检偏器,可插入1个荧光滤光块(V,BV,B,G) |
透射照明部(内置于基座 |
12V100W卤素照明装置,孔径光阑,视场光阑(可对中),可插入φ45mm滤光片(NCB11、NDA、NDB),可插入起偏器,内置LWD聚光镜(带升降机构) |
镜筒 |
L2-TT2超宽视场正立倾角三目镜筒(俯角0-30º);视场数25,光路切换比100:0/20:80
L2-TT超宽视场正立倾角三目镜筒(俯角0-30 º);视场数25,光路切换比100:0/0:100 |
载物台 |
14x12载物台,行程354x302mm(可进行透射照明观察的范围:354x268mm),带粗微调焦转换机构,微调手轮位置固定 |
目镜 |
CFI目镜系列 |
物镜 |
CFI60系统物镜系列 |