NEXIV VMR-10080
1000*800mm的超长行程载物台实现高精度测量。在大型液晶显示器用部件等的测量中发挥威力。
最大测量范围:1000x800mm
规格
型号 |
VMR-10080TZ |
VMR-10080 |
VMR-10080LU | ||
行程(XxYxZ) |
|
|
| ||
高倍率物镜 |
1000x800x150mm | ||||
低倍率物镜 |
950x800x150mm |
------ | |||
最小读数值 |
0.1µm | ||||
被测物最大重量 |
40kg | ||||
测量精度 |
U1x、U1y |
2+4L/1000µm (被测物重量40kg) | |||
U2xy |
3+4L/1000µm (被测物重量40kg) | ||||
Z轴测量精度(激光自动对焦) |
1.5+L/150µm | ||||
摄像头 |
黑白1/3英寸CCD(逐行扫描) |
黑白1/3英寸CCD(逐行扫描)、彩色1/3英寸CCD(选配件) | |||
工作距离 |
高倍率物镜:9.8mm/低倍率物镜:32mm |
50mm |
根据物镜参数 | ||
放大倍率/视场 |
参照放大倍率与视场表 |
根据物镜参数 | |||
自动对焦 |
TTL激光自动对焦/影像自动对焦 |
影像自动对焦 | |||
照明 |
垂直落射、透射(仅限高倍率物镜)、暗视场 |
透射、垂直落射、8段LED环形照明(中λ射角/大λ射角) |
透射、垂直落射(明视场或暗视场) | ||
电源 |
AC100V±10%、50/60Hz | ||||
能耗 |
最大15A |
最大13A | |||
主机+测量台尺寸 |
(W)1530x(D)2200x(H)1750mm/(重量)约1500kg | ||||
控制器尺寸 |
(W)250x(D)550x500mm/约31kg | ||||
占地 |
(W)2800x(D)2500mm | ||||
放大倍率与视场(mm)
1型 |
光学放大倍率 |
0.5x |
1x |
2x |
4x |
7.5x |
|
总放大倍率 |
20x |
40x |
80x |
160x |
300x |
|
视场 |
9.33x7 |
4.67x3.5 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.622x0.467 |
2型 |
光学放大倍率 |
1x |
2x |
4x |
8x |
15x |
|
总放大倍率 |
40x |
80x |
160x |
320x |
600x |
|
视场 |
4.67x3.5 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.582x0.437 |
0.311x0.233 |
3型 |
光学放大倍率 |
2x |
4x |
8x |
16x |
30x |
|
总放大倍率 |
80x |
160x |
320x |
640x |
1200x |
|
视场 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.582x0.437 |
0.291x0.218 |
0.155x0.117 |