1200x720mm的超长行程载物台在大型基板、液晶显示器用部件等的高精度测量中发挥威力。
最大测量范围;1200x720mm
规格
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型号 |
VMR-12072TZ |
VMR-12072 |
VMR-12072LU | |
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行程（XxYxZ） |
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高倍率物镜 |
1200x720x150mm | |||
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低倍率物镜 |
1150x720x150mm | |||
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最小读数值 |
0.1µm | |||
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被测物最大重量 |
40kg | |||
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测量精度 |
U1x、U1y |
2.2+4L/1000µm (被测物重量40kg) | ||
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U2xy |
3.2+4L/1000µm (被测物重量40kg) | |||
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Z轴测量精度（激光自动对焦） |
1.5+L/150µm | |||
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摄像头 |
黑白1/3英寸CCD（逐行扫描） |
黑白1/3英寸CCD（逐行扫描）、彩色1/3英寸CCD（选配件） | ||
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工作距离 |
高倍率物镜：9.8mm/低倍率物镜：32mm |
50mm |
根据物镜参数 | |
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放大倍率/视场 |
参照放大倍率与视场表 |
根据物镜参数 | ||
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自动对焦 |
TTL激光自动对焦/影像自动对焦 |
影像自动对焦 | ||
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照明 |
垂直落射、透射（仅限高倍率物镜）、暗视场 |
透射、垂直落射、8段LED环形照明（中λ射角/大λ射角） |
透射、垂直落射（明视场或暗视场） | |
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电源 |
AC100V±10%、50/60Hz | |||
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能耗 |
最大15A |
最大13A | ||
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主机+测量台尺寸 |
(W)1734x(D)2200x（H）1750mm/（重量）约1600kg | |||
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控制器尺寸 |
(W)250x(D)550x500mm/约31kg | |||
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占地 |
（W）2800x(D)2500mm | |||
放大倍率与视场（mm）
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1型 |
光学放大倍率 |
0.5x |
1x |
2x |
4x |
7.5x |
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总放大倍率 |
20x |
40x |
80x |
160x |
300x |
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视场 |
9.33x7 |
4.67x3.5 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.622x0.467 |
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2型 |
光学放大倍率 |
1x |
2x |
4x |
8x |
15x |
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总放大倍率 |
40x |
80x |
160x |
320x |
600x |
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视场 |
4.67x3.5 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.582x0.437 |
0.311x0.233 |
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3型 |
光学放大倍率 |
2x |
4x |
8x |
16x |
30x |
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总放大倍率 |
80x |
160x |
320x |
640x |
1200x |
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视场 |
2.33x1.75 |
1.165x0.875 |
0.582x0.437 |
0.291x0.218 |
0.155x0.117 |
